北京赛米莱德公司-nr27 25000p光刻胶价格

五、---

在这一步中，将使用特定波长的光对覆盖衬底的光刻胶进行选择性地照射。光刻胶中的感光剂会发生光化学反应，从而使正光刻胶被照射区域（感光区域）、负光刻胶未被照射的区域（非感光区）化学成分发生变化。这些化学成分发生变化的区域，在下一步的能够溶解于特定的显影液中。

在接受光照后，正性光刻胶中的感光剂dq会发生光化学反应，变为---，并进一步水解为茚并羧酸（indene-carboxylic-acid， ca），羧酸在碱性溶剂中的溶解度比未感光部分的光刻胶高出约100倍，nr27 25000p光刻胶价格，产生的羧酸同时还会促进酚醛树脂的溶解。利用感光与未感光光刻胶对碱性溶剂的不同溶解度，就可以进行掩膜图形的转移。

---方法：

a、接触式---（contact printing）掩膜板直接与光刻胶层接触。

b、接近式---（proximity printing）掩膜板与光刻胶层的略微分开，大约为10～50μm。

c、投影式---（projection printing）。在掩膜板与光刻胶之间使用透镜---光实现---。

d、步进式---(stepper)

pr1-2000a1 试验操作流程

pr1-2000a1的厚度范围可以做到 1500到3500nm，如下以膜厚2900nm为列；

1，静态滴胶后以1300转/分速度持续40秒。同时必须需要在1秒内达到从0转/分到1300转/分的升速度；

2，前烘：热板120度120秒；

3，冷却至室温；

4，用波长为365，406，nr27 25000p光刻胶厂家，436的波长---，

5，nr27 25000p光刻胶，在温度为20-25度，使用rd6浸泡式、喷雾、显影 ；

6，去除光刻胶，可使用ch3coch3，rr5，rr41等。